在化工行業中，傳統的真空泵技術，諸如液環泵、蒸汽噴射器、直流式油封泵以及它們的組合，一 直被認為是環境污染的源頭，也會對工藝介質產生污染。蒸汽噴射器和液環泵都產生被工藝介質污染的水（或油），通常該水需經處理后才能排放；直流式油封泵產生被污染的油，這些油需要后續的廢液處理或焚燒。而且在傳統的真空泵中，泵中的壓縮空間是 “濕式”環境，正是腐蝕產生的理想條件。因此，蒸汽噴射器和液環泵需要在很寬的范圍內選擇制造材料，包括不銹鋼、哈氏合金，甚至石墨和陶瓷。
       近年來，隨著石化行業裝備水平的提高以及各國對環保越來越嚴格的要求，逐漸用干式真空系統取代了傳統的濕式系統。干式無油抽真空系統同工藝蒸汽之間互相不污染，工藝蒸汽經干式真空泵壓縮升壓后可以直接去尾氣處理系統，也可以經過一個真空泵出口冷凝器，將氣體回收。